DLOG 다중 로그 비교 가이드

1 무엇을 어디서 비교하나

한 파일만 보면 정상처럼 보여도 로트끼리, 온도끼리, 테스터끼리 놓고 보면 차이가 드러나는 경우가 많습니다. DLOG는 파일을 여러 개 열면 그 파일들을 하나의 문서로 묶고, 아래 화면들이 같은 데이터를 서로 다른 관점으로 비교합니다.

2 여러 파일 열기와 계산 범위

파일을 한꺼번에 열거나 더하기

• 파일 탐색기에서 복수의 STDF 파일을 다중 선택하여 열거나, DLOG 창으로 드래그 앤 드롭합니다.
• 이미 파일을 연 뒤라면 왼쪽 위 파일 칩 메뉴의 Append...(Ctrl+Shift+O)로 현재 문서에 더합니다.
• 같은 웨이퍼를 다시 측정한 파일, 온도·테스터·프로그램 리비전이 다른 파일을 함께 열면 서로 비교할 수 있습니다.
• .gz로 압축된 STDF와 STDF가 하나만 든 .zip은 풀지 않고 열립니다. 여러 파일이 든 .zip은 먼저 풀어서 여세요.

Scope · Retest · Filter

화면 위쪽의 세 칩은 모든 화면과 리포트의 계산 대상을 함께 바꿉니다. 비교 결과가 예상과 다르면 가장 먼저 확인하세요.

• Scope: 열린 파일·웨이퍼 중 어느 것을 계산에 넣을지 정합니다. 한 파일로 좁히면 그 파일만의 결과가 됩니다.
• Retest: Collapsed(기본)는 같은 자리를 다시 측정한 다이를 마지막 측정 한 번만 셉니다. All insertions는 모든 측정을 각각 셉니다.
• Filter: 사이트, BIN, 좌표, 측정값, 합부, 웨이퍼 조건에 맞는 파트만 남깁니다.

여러 STDF를 파일 하나로 합치려면

분석이 아니라 파일 자체를 합쳐야 한다면 Tools ▸ Output ▸ Merge STDF(또는 CLI의 dlog-cli merge)를 씁니다. 합친 파일의 요약 레코드(PCR · SBR · HBR · TSR)는 전체 파트로 다시 계산됩니다. 테스트 항목 목록이나 STDF 버전, 웨이퍼 형상이 서로 다르면 병합이 거부됩니다.

3 파일·로트별 수율 비교 (Compare ▸ Files)

열린 파일이 두 개 이상이면 Compare 화면에서 파일마다 한 줄로 수량, 양품, 불량, 수율, BIN별 개수, 대표 불량 BIN(TOP FAIL)을 나란히 봅니다. 파일 아래쪽 막대 그래프는 합산 수율보다 높은 파일을 초록, 낮은 파일을 빨강으로 보여 줍니다.

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읽는 법

• File / Lot 전환: File 모드는 파일 단위 개별 행 요약, Lot 모드는 동일 Lot ID 기준의 통합 행 요약으로 표시합니다. 웨이퍼별로 STDF 파일이 분할되어 있을 때 Lot 모드가 특히 유용합니다.
• BIN 열의 붉은 농도: 진할수록 그 BIN의 불량이 많다는 뜻입니다. 파일 사이에서 유독 진해지는 BIN이 원인 후보입니다.
• TOP FAIL: 그 파일에서 가장 많이 나온 불량 BIN의 이름과 개수입니다. 예시에서는 두 파일 모두 IDDQ_HIGH가 1위(18개, 20개)입니다.
• 맨 아래 TOTAL은 현재 Scope의 합계이고, 위쪽 카드는 파일 수 · 전체 파트 · Pass · Fail · 합산 수율 · 수율 범위(best ~ worst)를 요약합니다.

4 분포 겹쳐 보기 (Compare ▸ Overlay)

한 파일의 히스토그램만 보면 정상이어도, 파일끼리 겹치면 평균이 이동했는지 산포가 넓어졌는지 한눈에 드러납니다. Overlay는 테스트 하나를 고르면 열린 파일마다 한 색으로 곡선을 그리고, 점선으로 각 파일의 평균을 표시합니다.

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10가지 겹쳐 보기 방식

위쪽 Auto · Full · Spec Limits · Manual...로 값 범위를, Very Coarse ~ Very Fine으로 구간 밀도를, Opacity로 투명도를 조절합니다. 테스트는 이름·번호로 찾거나 좌우 화살표로 넘깁니다.

5 두 그룹 A/B 비교 (Compare ▸ A/B)

프로그램 리비전을 바꾸기 전과 후, 25℃와 85℃, 테스터 1호기와 2호기처럼 두 그룹으로 나눌 수 있다면 A/B 방식이 가장 직접적입니다. 열린 파일을 그룹 A와 그룹 B에 배정하면 테스트마다 두 그룹의 차이를 Welch t 검정으로 계산해 표로 줍니다.

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사용 순서

1. 비교할 파일을 모두 열고 A/B를 누릅니다.
2. 오른쪽 표에서 파일을 눌러 A 또는 B로 배정합니다. Auto-detect는 파일 정보로 자동 배정을 시도하고, 맞지 않으면 직접 고칩니다. Swap A<->B로 서로 바꿀 수 있습니다.
3. Significant only를 켜면 p < 0.05인 테스트만 남깁니다.

표의 열

6 그룹 분석과 ANOVA

Group Analysis는 테스트 하나를 Site · File · Corner · Temp · Process · Node · Program-Rev · Product 중 하나의 기준으로 나눠 그룹끼리 비교합니다. 그룹이 셋 이상이어도 되고, 아래 한 줄에 One-way ANOVA 결과가 함께 나옵니다.

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분석 방식

• Box Plot: 가로선은 중앙값, 상자는 25~75%, 수염은 1.5×IQR, 작은 점은 이상치, 진한 점은 평균입니다.
• Histogram · Normal Quantile: 그룹별 분포를 겹쳐 그리고, 후자는 그룹별 Anderson-Darling 정규성 p를 표시합니다.
• Summary: 그룹별 N · 평균 · 표준편차 · 중앙값 · 최소 · 최대 표입니다.
• Distribution Fit: 정규 · 로그정규 · 와이블을 맞추고 Anderson-Darling으로 순위를 매깁니다.

ANOVA 한 줄 읽기

• p-value < 0.05: 그룹 평균이 모두 같다면 이만한 차이가 우연히 나올 확률이 5% 미만이라는 뜻입니다. 최소 한 그룹은 평균이 다릅니다.
• Eta² (η²): 값이 흩어진 정도 중 그룹 차이가 설명하는 비율입니다. 0에 가까우면 그룹 차이가 거의 없고, 0.40이면 흩어짐의 40%가 그룹 차이 때문입니다. 위 예시의 0.097은 "차이는 분명하지만 흩어짐의 약 10%만 설명한다"는 뜻입니다.
• Tukey HSD: 그룹 쌍을 하나씩 비교해 차이가 있는 쌍의 수를 알려 줍니다(예: "1 of 1 pairs differ").

7 웨이퍼 겹쳐 보기 (Stacked · Gallery)

웨이퍼 한 장에서는 우연처럼 보이던 불량도 여러 장을 겹치면 같은 자리에서 반복되는지 확인할 수 있습니다. Wafer 화면의 웨이퍼 선택 목록 맨 위 STACKED를 고르면 열린 모든 웨이퍼를 겹친 다이별 통과율 맵이 됩니다.

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• Pass / Fail에서는 통과율을, PAT Data에서는 PAT Fail(밴드를 벗어난 웨이퍼 수) · Mean(자리별 평균) · Sigma(웨이퍼 간 흩어짐) 중 하나를 골라 겹쳐 볼 수 있습니다.
• 웨이퍼 좌표(X, Y)가 있는 웨이퍼 소트 데이터에서만 쓸 수 있습니다. 파이널 테스트처럼 좌표가 없으면 맵이 나오지 않습니다.
• 같은 자리가 계속 불량이면 프로브 카드 핀, 레티클 샷 반복 같은 위치에 묶인 원인을 의심해 볼 수 있습니다. 웨이퍼 하나하나의 모양은 Signature 모드(Edge-Low · Center-Low · Ring · Cluster · Random)가 이름을 붙여 줍니다.

웨이퍼 갤러리

Gallery는 열린 웨이퍼 전부를 썸네일로 늘어놓습니다. Sort: Yield로 수율이 낮은 웨이퍼를 앞으로 보내고, 카드 아래 패턴 이름(Clustered, Center-Low 등)을 훑어본 뒤, 의심스러운 카드를 더블클릭하면 그 웨이퍼가 Wafer 화면에서 열립니다. PAT Data 색은 로트 전체에 공통인 스케일이라 웨이퍼끼리 같은 기준으로 비교됩니다.

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8 테스터·단계·코너 비교

특정한 짝을 맞춰 비교하는 목적별 화면도 있습니다. 모두 파일을 두 개 이상 열어야 쓸 수 있습니다.

9 창고(Warehouse)로 긴 이력 비교

한 번에 열어 둔 파일만으로는 서서히 변하는 수율이나 프로그램 리비전 변경의 영향을 보기 어렵습니다. Warehouse는 STDF 이력을 컴퓨터 안의 데이터베이스(DuckDB)에 쌓아 두고 로트 사이의 흐름을 분석합니다. Tools ▸ Warehouse ▸ Add to Warehouse로 열린 파일을, Add Folder to Warehouse로 폴더 안의 STDF를 한꺼번에 넣습니다. 64비트 빌드에서만 쓸 수 있습니다.

10 활용 순서와 FAQ

추천 비교 순서

1. Compare ▸ Files로 어느 파일(로트)이 낮은지, 어느 BIN이 늘었는지 찾습니다.
2. 의심 BIN과 관련된 테스트를 Overlay로 겹쳐 평균 이동인지 산포 확대인지 구분합니다.
3. 비교 조건이 둘로 나뉘면 A/B로, 셋 이상이면 Group Analysis로 차이가 통계적으로 의미 있는지 확인합니다.
4. 웨이퍼 소트 데이터라면 STACKED 웨이퍼 맵으로 위치에 묶인 원인이 있는지 봅니다.
5. 결과는 Export CSV 또는 Save Report(PDF · Excel · Word · 이미지)로 내보냅니다.

자주 묻는 질문