1. What STDF is
STDF(표준 테스트 데이터 형식) 간단하고 유연하며 이식 가능한 바이너리입니다. 반도체 테스트 장비에서 생성된 결과를 저장하기 위한 데이터 형식입니다. 생성되었습니다 에 의해 Teradyne 1985년에 처음 소개되었습니다. 왜냐하면 잘 문서화되어 있고 공급업체 중립적이 되었습니다. de-facto standard 전체 자동 테스트에 걸쳐 장비(ATE) 산업.
테스터가 웨이퍼 또는 패키지 장치의 다이를 측정할 때 매개변수를 기록합니다. 측정, 통과/실패 결과, 빈 할당 및 테스트 조건을 STDF로 저장 파일 — 일반적으로 datalog. 하나의 STDF 파일은 하나의 로트에 대한 테스트 데이터를 보유합니다. 단일 삽입으로 부품을 생산합니다(테스트를 통해 로트 1회 통과).
핵심 아이디어: STDF는 데이터베이스도 아니고 고정된 보고서도 아닙니다.. 이는 정의된 세트 논리적 레코드 유형. 각 레코드는 테스트 실행의 한 부분을 설명합니다. (부품, 웨이퍼, 단일 측정, 빈 카운트 등) 데이터가 설명되어 있기 때문에 논리적 레코드로서 데이터가 메모리 버퍼에 있든 파일에 있든 동일한 형식이 작동합니다. 특정 데이터베이스나 네트워크와는 별개로 디스크에 있거나 네트워크를 통해 전송되고 있습니다. 건축.
2. STDF가 존재하는 이유
ATE 산업이 성숙해짐에 따라 공급업체는 공통된 환경을 중심으로 네트워킹 및 분석 시스템을 구축했습니다. 이더넷과 같은 표준. 그러나 한 가지 눈에 띄는 격차가 남아 있었습니다. 테스트 결과 데이터가 다른 제조업체의 테스터 간 호환 가능 - 때로는 심지어 동일한 제조업체의 제품 라인 간.
공유 형식이 없으면 모든 팹과 모든 OSAT(조립 및 테스트 하우스)에 모든 머신에 대한 사용자 정의 파서. STDF는 이러한 격차를 해소합니다. 단일 공통 컨테이너를 제공합니다. 그래서:
- 테스터는 원시 결과를 자체 기본 표현으로 신속하게 작성할 수 있습니다.
- 중앙 집중식 데이터베이스 엔진은 하나의 프로그램으로 광범위한 테스터의 데이터를 수용할 수 있습니다.
- 데이터는 잘 문서화되고 철저하게 디버깅된 형식으로 사내 네트워크로 다시 내보낼 수 있습니다.
- 휴대용 보고 및 분석 소프트웨어는 한 번만 작성하면 어디서나 사용할 수 있습니다.
Teradyne은 표준으로부터 직접적인 상업적 이익을 얻지 못합니다. 표준은 STDF를 정확하게 게시했습니다. 따라서 전체 업계는 공통적이고 완벽하게 문서화된 형식을 사용하여 생산성을 더욱 높일 수 있습니다.
3. 설계 목표
STDF의 설계는 다음과 같은 명확한 목표에 따라 설계되었습니다.
- 다음에 대한 테스트 데이터를 저장할 수 있어야 합니다. all 반도체 테스터 및 트리머.
- 두 가지 모두에 공통 형식을 제공합니다. storage and transmission of data.
- 에 대한 기초를 제공 portable 보고 및 분석 소프트웨어.
- 데이터 메시지 형식을 데이터베이스 형식에서 분리하여 둘 중 하나를 독립적으로 발전시킬 수 있습니다.
- 다음에 대한 지원 제공 optional (누락 또는 유효하지 않은) 데이터.
- 개발자와 사용자에게 완전하고 간결한 문서를 제공합니다.
- 고객이 쉽게 자신의 보고서를 작성하거나 자신의 데이터베이스에 맞게 데이터 형식을 다시 지정할 수 있도록 하십시오.
4. STDF 파일의 구조
STDF 파일은 단순히 기록의 순서, 차례로. 모든 기록 — 유형에 관계없이 — 동일하게 시작합니다. 4바이트 레코드 헤더:
| Field | Type | Meaning |
|---|---|---|
| REC_LEN | U*2 | 헤더 뒤에 오는 데이터 바이트 수(헤더 자체 4바이트는 계산되지 않음) |
| REC_TYP | U*1 | 식별하는 정수 group 관련 레코드 유형. |
| REC_SUB | U*1 | 식별하는 정수 specific 해당 그룹 내의 레코드 유형입니다. |
The pair (REC_TYP, REC_SUB) 각 레코드 유형을 고유하게 식별합니다. 그룹화 기준
REC_TYP 분석 프로그램이 기록 계열을 신속하게 인식할 수 있도록 해줍니다(예:
"부분별로 수집된 모든 것"). 200 미만의 모든 유형/하위 유형 코드는 Teradyne이 보유합니다.
200 이상의 코드는 맞춤형 애플리케이션의 경우 무료입니다.
레코드 그룹(REC_TYP)
| REC_TYP | Group | 레코드 유형(REC_SUB) |
|---|---|---|
| 0 | 파일에 대한 정보 | FAR(10), ATR(20) |
| 1 | Per-lot data | MIR(10), MRR(20), PCR(30), HBR(40), SBR(50), PMR(60), PGR(62), PLR(63), RDR(70), SDR(80) |
| 2 | Per-wafer data | WIR(10), WRR(20), WCR(30) |
| 5 | Per-part data | PIR(10), PRR(20) |
| 10 | 테스트별(전체 프로그램) | TSR (30) |
| 15 | 테스트별 실행 | PTR(10), MPR(15), FTR(20) |
| 20 | 프로그램 세그먼트별 | BPS(10), EPS(20) |
| 50 | Generic data | 동독(10), 동독(30) |
바이트 순서와 CPU_TYPE 트릭
다양한 프로세서(DEC, Motorola, Intel, IBM, Sun…)는 정수와 부동 소수점을 저장합니다.
비트 순서가 다른 숫자. 모든 테스터에게 데이터를 있는 그대로 변환하도록 강요하기보다는
쓰기(테스트 속도가 느려짐), STDF를 사용하면 각 시스템에서 자국어로 글을 쓰다
표현 and records which CPU가 파일을 다음 위치에 썼습니다. CPU_TYPE
첫 번째 레코드(FAR)의 필드입니다. 다른 시스템이 파일을 읽을 때 확인합니다.
CPU_TYPE 필요한 경우에만 각 레코드를 자체 표현으로 변환합니다. 데이터
읽기 시 변환이 투명해지며 테스트 속도가 느려지지 않습니다.
Dates and times
모든 날짜/시간 필드는 날짜를 계산하는 4바이트 부호 없는 정수입니다. 초 1970년 1월 1일 자정부터 (UNIX 시대), 현지 시간대.
5. 데이터 유형 코드
STDF는 필드 유형에 대해 짧고 인식 가능한 코드를 사용합니다. 예를 들어 R*4 을 의미한다
4바이트 실수(부동). 뒤에 숫자는 * 크기(바이트)입니다. 1바이트는 8비트입니다.
| Code | C type | Description |
|---|---|---|
| C*12 | char[12] | 고정 길이 문자열. 더 짧으면 왼쪽 정렬되고 공백으로 채워집니다. |
| C*n | char[] | 가변 길이 문자열. 첫 번째 바이트는 뒤따르는 바이트의 부호 없는 개수입니다(최대 255). |
| C*f | char[] | 길이가 다른 필드에 저장되는 가변 길이 문자열입니다. |
| U*1 / U*2 / U*4 | unsigned | 1, 2, 4바이트 부호 없는 정수. |
| I*1 / I*2 / I*4 | signed | 1, 2, 4바이트 부호 있는 정수. |
| R*4 / R*8 | float / double | 4바이트 및 8바이트 부동 소수점 숫자. |
| B*6 | char[6] | 고정 길이 비트 인코딩 데이터. |
| B*n | char[] | 가변 길이 비트 인코딩 필드. 첫 번째 바이트는 바이트 수(최대 255)입니다. |
| D*n | char[] | 가변 길이 비트 필드; 처음 2바이트는 bit 수(최대 65,535비트). |
| N*1 | char | 니블(4비트)에 저장된 부호 없는 정수입니다. 낮은 니블의 첫 번째 값, 높은 니블의 두 번째 값입니다. |
| V*n | — | 가변 데이터 유형: 첫 번째 바이트는 유형을 알려주는 코드이고 그 다음에는 데이터가 따릅니다. |
| kxTYPE | TYPE[] | An array of k 특정 유형의 항목, 여기서 k 이전 분야에서 왔습니다. 예를 들어 kxU*2. |
6. 선택사항, 누락 및 유효하지 않은 데이터
많은 필드가 표시되어 있습니다. optional. 선택 필드가 계속 존재해야 합니다. 하지만 "이 값은 의미가 없습니다"라고 말하는 두 가지 표준 방법이 있습니다.
- A 미리 정의된 예약된 값 '누락'을 의미합니다. 길이 바이트 0 문자열이거나 숫자 필드의 경우 -1과 같은 특정 숫자입니다.
- An 선택적 데이터 비트 필드: 각 비트가 특정 비트인지 여부를 표시하는 바이트 선택적 필드에는 유효한 데이터가 포함됩니다.
공간을 절약하려면 end 기록의 전체 생략 가능 — 그러나 해당 항목(및 그 이후의 모든 항목)에 누락/잘못된 데이터가 포함된 경우에만 해당됩니다. 절대로 생략할 수 없습니다. 선택 필드 middle of a record.
7. 필수 기록 및 초기 순서
STDF V4에서 유효한 파일에는 다음이 포함되어야 합니다. 네 개의 필수 레코드:
- FAR — 정확히 하나이며, 그것은 다음이어야 합니다. first 파일에 기록합니다.
- MIR — 정확히 1개, FAR 바로 뒤(및 ATR 바로 뒤).
- PCR — 적어도 하나(요약 PCR
HEAD_NUM = 255, 또는 헤드/사이트당 하나 또는 둘 다). - MRR — 정확히 하나이며, 그것은 다음이어야 합니다. last 파일에 기록합니다.
몇몇 기록에 따르면 그 위치는 "초기 시퀀스 이후"입니다. 그만큼 초기 순서 파일의 시작 부분에 있는 고정된 레코드 블록입니다. 주문 규칙:
- FAR이 항상 첫 번째입니다.
- 모든 ATR(감사 추적)은 FAR 직후에 제공됩니다.
- MIR은 FAR 및 ATR 뒤에 옵니다.
- RDR(재테스트)을 사용하는 경우 MIR 직후에 발생합니다.
- SDR(사이트 설명)이 사용되는 경우 MIR(및 RDR(있는 경우)) 바로 뒤에 옵니다.
# 전체 초기 시퀀스: FAR → [ATRs] → MIR → [RDR] → [SDRs] → …다른 모든 기록… → MRR
8. 모든 STDF V4 레코드 유형
다음은 STDF V4에서 정의한 모든 레코드 유형을 설명하는 내용별로 그룹화한 것입니다. 당신은 각각에 대해
해당 기능, 표시 빈도, 파일 내 위치 등을 확인합니다.
records — 전체 필드 목록. 헤더 필드(REC_LEN, REC_TYP,
REC_SUB)은 모든 레코드에 대해 동일하므로 필드 테이블에서 생략됩니다.
파일 수준 기록
FAR 파일 속성 레코드 — 필수, 첫 번째 기록
독자에게 파일의 나머지 부분을 디코딩하는 방법을 알려줍니다. 운반하기 때문에 CPU_TYPE and
STDF_VER, 먼저 읽어야합니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| CPU_TYPE | U*1 | 파일을 작성한 CPU는 무엇입니까(0 = DEC PDP-11/VAX, 1 = Sun 1–4, 2 = Sun 386i / IBM PC 제품군). |
| STDF_VER | U*1 | 데이터를 생성하는 데 사용되는 STDF 버전 번호입니다. |
ATR 감사 추적 기록 — 선택 사항
파일(일반적으로 필터 프로그램)을 변경한 모든 작업을 기록합니다. 여러 ATR이 앉아 있음 FAR 직후 역시간순으로.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| MOD_TIM | U*4 | 파일이 수정된 날짜 및 시간입니다. |
| CMD_LINE | C*n | 파일을 변경한 프로그램의 명령줄입니다. |
Per-lot records
MIR 마스터정보기록 — 필수, 파일당 하나씩
테스트된 로트에 대한 글로벌 정보("모든 보고서의 헤더")를 보유합니다. 그것은 가지고있다 많은 필드(가장 선택 사항) 하이라이트는 여기에 표시됩니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| SETUP_T | U*4 | 작업 설정 날짜/시간입니다. |
| START_T | U*4 | 첫 번째 부분이 테스트된 날짜/시간입니다. |
| STAT_NUM | U*1 | 테스터 스테이션 번호. |
| MODE_COD | C*1 | 테스트 모드(P = 생산, D/E = 개발, M = 유지 관리, Q = QC, C = 검사기, A = AEL). |
| RTST_COD | C*1 | Lot retest code. |
| BURN_TIM | U*2 | 번인 시간(분)입니다. |
| LOT_ID | C*n | 로트 ID(고객 지정). |
| PART_TYP | C*n | 부품 유형/제품 ID. |
| NODE_NAM | C*n | 데이터를 생성한 노드의 이름입니다. |
| TSTR_TYP | C*n | Tester type. |
| JOB_NAM | C*n | 작업/테스트 프로그램 이름. |
| JOB_REV | C*n | 테스트 프로그램 개정. |
| SBLOT_ID | C*n | Sublot ID. |
| OPER_NAM | C*n | 설정 시 운영자 이름/ID입니다. |
| TST_TEMP | C*n | 테스트 온도(자유 텍스트 - 예: "25C", "HOT", "COLD"). |
| PROC_ID | C*n | 제작 프로세스 ID. |
| FLOW_ID, PKG_TYP, FAMLY_ID, DATE_COD, FACIL_ID, … | C*n | 다양한 추가 선택적 식별자(흐름, 패키지, 제품군, 날짜 코드, 시설, 사양 이름/버전, ROM 코드, 테스터 일련 번호, 감독자 등). |
MRR 마스터 결과 기록 — 필수, 마지막 기록
테스트가 완료된 후에만 알려진 데이터를 보관하는 MIR의 논리적 연속입니다. 그것은 항상 파일의 최종 기록입니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| FINISH_T | U*4 | 마지막 부분이 테스트된 날짜/시간입니다. |
| DISP_COD | C*1 | 로트 처리 코드(사용자 정의 영숫자)입니다. |
| USR_DESC | C*n | 사용자가 제공한 로트 설명입니다. |
| EXC_DESC | C*n | Exec 소프트웨어에서 제공하는 로트 설명입니다. |
PCR Part Count Record — 필수, 파일당 ≥ 1
하나의 테스트 사이트에 대한 부품 수 합계를 보유합니다. HEAD_NUM = 255, 모두를 위해
사이트가 결합되었습니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| HEAD_NUM/SITE_NUM | U*1 | 테스트 헤드/사이트(255 = 모든 사이트에 대한 요약) |
| PART_CNT | U*4 | 테스트된 부품 수. |
| RTST_CNT | U*4 | 재시험된 부품 수. |
| ABRT_CNT | U*4 | 테스트 중 중단 횟수입니다. |
| GOOD_CNT | U*4 | 양호한(통과) 부품 수입니다. |
| FUNC_CNT | U*4 | 기능 부품 수(테스트, 통과 또는 실패하기에 충분함) |
HBR 하드웨어 빈 기록 · SBR 소프트웨어 빈 기록
HBR counts parts physically 테스트 후 하드웨어 상자에 보관 (웨이퍼 테스트에서 "물리적"은 잉크 도트 또는 웨이퍼 맵 항목을 의미합니다.) SBR 카운트 부품 logically 소프트웨어 저장소에 할당 — 테스트에서 정의된 더 세부적인 범주 프로그램. 둘 다 같은 모양을 공유합니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| HEAD_NUM/SITE_NUM | U*1 | 헤드/사이트(255 = 모든 사이트). |
| HBIN_NUM / SBIN_NUM | U*2 | Bin 번호(0~32767). |
| HBIN_CNT / SBIN_CNT | U*4 | 상자에 있는 부품 수입니다. |
| HBIN_PF / SBIN_PF | C*1 | 통과/실패 표시기(P = 통과, F = 실패, 공백 = 알 수 없음). |
| HBIN_NAM / SBIN_NAM | C*n | Name of the bin. |
PMR · PGR · PLR 핀 매핑 기록
이 세 가지 레코드는 장치 핀과 테스터 채널 간의 매핑을 설명합니다. 기능(FTR) 및 다중 결과(MPR) 레코드. 간단히 말해서: PMR 단일 지도 채널 ← 핀 쌍을 지정하고 인덱스(1–32,767)를 제공합니다. PGR 핀 그룹의 이름을 지정합니다. (그룹 지수 32,768-65,535); PLR 표시 기수, 작동 모드를 정의합니다. 프로그래밍되고 반환된 핀 상태를 표시하는 데 사용되는 문자 인코딩입니다. 보다 §11 핀 매핑 전체 연습을 위해.
RDR 재테스트 데이터 기록 — 선택 사항
파일에 재테스트된 부품이 포함되어 있음을 알리고 재테스트 중인 저장소 목록을 표시합니다. 필터 프로그램은 대체할 데이터가 무엇인지 알고 있습니다. 존재하는 경우 MIR 바로 뒤에 옵니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| NUM_BINS | U*2 | 재테스트 중인 bin 수(0 = 모든 bin) |
| RTST_BIN | kxU*2 | 다시 테스트 중인 하드웨어 bin 번호의 배열입니다. |
SDR 사이트 설명 기록 — 선택 사항
하나의 헤드(핸들러/프로버)에 있는 테스트 사이트 그룹의 물리적 구성을 설명합니다. 프로브 카드, 로드 보드, DIB 보드, 케이블, 접촉기, 레이저 및 해당 유형/ID 쌍. 예전에는 인터페이스 하드웨어와 수율을 연관시키십시오. 존재하는 경우 SDR은 MIR(및 RDR) 바로 뒤에 옵니다.
웨이퍼별 기록(웨이퍼 프로브에만 해당)
WIR 웨이퍼 정보 기록 · WRR 웨이퍼 결과 기록
A WIR/WRR 쌍은 하나의 웨이퍼에서 테스트된 모든 것을 브라켓합니다. — WIR은 시작을 표시합니다.
WRR 끝. 그들은 같은 것을 공유합니다 HEAD_NUM and SITE_GRP. WIR은
웨이퍼의 시작 시간과 WAFER_ID; WRR에는 완료 시간, 동일한 부품/재시험/
중단/양호/기능은 PCR로 계산되며 추적을 위한 추가 ID는 다음과 같습니다.
| Field (WRR) | Type | Description |
|---|---|---|
| FINISH_T | U*4 | 웨이퍼의 마지막 다이가 테스트된 날짜/시간입니다. |
| PART_CNT … FUNC_CNT | U*4 | 테스트됨/재테스트됨/중단됨/양호/기능적 다이 카운트. |
| WAFER_ID | C*n | 웨이퍼 ID(WIR의 ID를 대체함) |
| FABWF_ID | C*n | Fab 웨이퍼 ID - 결과를 다시 제조에 연결합니다. |
| FRAME_ID | C*n | 웨이퍼 프레임 ID - 잉크 없는 비닝을 위해 톱질 후 웨이퍼를 추적합니다. |
| MASK_ID | C*n | Wafer mask ID. |
WCR 웨이퍼 구성 기록 — 파일당 하나, 웨이퍼 테스트 전용
로트의 모든 웨이퍼에 대한 물리적 치수와 방향을 제공합니다. 웨이퍼 맵을 그리는 데 사용됩니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| WAFR_SIZ | R*4 | 웨이퍼 직경(WF_UNITS 단위)입니다. |
| DIE_HT / DIE_WID | R*4 | 다이 높이와 너비. |
| WF_UNITS | U*1 | 단위: 1 = 인치, 2 = cm, 3 = mm, 4 = 밀(0 = 알 수 없음). |
| WF_FLAT | C*1 | 웨이퍼 플랫 방향(U/D/L/R). |
| CENTER_X / CENTER_Y | I*2 | 중심의 좌표가 죽습니다. |
| POS_X / POS_Y | C*1 | 어느 방향이 양의 X(L/R)이고 양의 Y(U/D)입니까? |
Per-part records
PIR 부품정보 기록 · PRR 부품 결과 기록
A PIR/PRR 쌍은 한 부품에 대해 모든 테스트를 거쳤습니다. PIR은 단지
부품을 테스트하기 전에 배치된 마커(헤드 + 사이트) 해당 부품에 대한 모든 결과(PTR/MPR/FTR)
따라가면 PRR이 결과로 종료합니다. 병렬 테스트를 할 때,
HEAD_NUM/SITE_NUM 각 결과에서 이를 올바른 PIR/PRR 쌍과 연관시키십시오.
| Field (PRR) | Type | Description |
|---|---|---|
| HEAD_NUM/SITE_NUM | U*1 | 이 부분의 헤드/사이트입니다. |
| PART_FLG | B*1 | 비트 플래그: PART_ID(비트 0) 또는 X/Y(비트 1)로 대체됩니다. 비정상적인 종료(비트 2); 실패(비트 3); 통과/실패가 유효합니다(비트 4). |
| NUM_TEST | U*2 | 부품에 대해 실행된 테스트 수입니다. |
| HARD_BIN | U*2 | 부품이 도착한 하드웨어 상자(0–32767). |
| SOFT_BIN | U*2 | 소프트웨어 저장소(65535 = 없음). |
| X_COORD / Y_COORD | I*2 | 웨이퍼 좌표(-32768 = 누락). |
| TEST_T | U*4 | 경과된 테스트 시간(밀리초)입니다. |
| PART_ID | C*n | 부품 식별. |
| PART_TXT | C*n | 부품 설명 텍스트입니다. |
| PART_FIX | B*n | 애플리케이션별 수리 정보(참조: 제12조). |
PART_ID
or the X_COORD/Y_COORD 쌍 - 그렇지 않으면 결과를 사용하기 어렵습니다.
분석하거나 웨이퍼 맵에 배치합니다.Per-test summary
TSR 테스트 개요 기록 — 프로그램의 테스트당 하나
전체 로트에 걸쳐 단일 테스트의 실행 및 실패 횟수와 정적 횟수를 요약합니다. 테스트 이름과 같은 정보. 테스트 번호, 헤드, 사이트별로 PTR/MPR/FTR에 연결됩니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| HEAD_NUM/SITE_NUM | U*1 | 헤드/사이트(255 = 모든 사이트에 대한 요약) |
| TEST_TYP | C*1 | P = 파라메트릭, F = 기능적, M = 다중 결과 파라메트릭. |
| TEST_NUM | U*4 | Test number. |
| EXEC_CNT | U*4 | 실행 횟수. |
| FAIL_CNT | U*4 | 실패 횟수. |
| ALRM_CNT | U*4 | 경고된 테스트 수. |
| TEST_NAM / SEQ_NAME / TEST_LBL | C*n | 테스트 이름, 시퀀서 이름 및 레이블. |
| TEST_TIM | R*4 | 평균 실행 시간(초)입니다. |
| TEST_MIN / TEST_MAX | R*4 | 최저/최고 결과 값이 표시됩니다. |
| TST_SUMS / TST_SQRS | R*4 | 결과의 합계 및 제곱합 — 여러 파일을 병합하는 경우에도 평균 및 표준 편차를 계산하는 데 사용됩니다. |
테스트 실행별 기록(측정)
PTR 파라메트릭 테스트 기록 — 파라메트릭 테스트 실행당 하나
데이터로그의 핵심: 하나의 PTR은 단일 매개변수의 결과를 보유합니다. 측정 (전압, 전류, 타이밍,…). 그만큼 first 특정 PTR 테스트 번호에는 한계, 단위, 스케일링 및 형식과 같은 "반정적" 설명도 포함됩니다. 이는 해당 테스트의 모든 이후 PTR에 대한 기본값이 됩니다(이는 별도의 PDR을 대체합니다). STDF V3에서 사용되는 레코드). 공간을 절약하기 위해 이후 PTR은 해당 기본 필드를 재정의하지 않는 한 생략합니다.
| Field | Type | Description |
|---|---|---|
| TEST_NUM | U*4 | Test number. |
| HEAD_NUM/SITE_NUM | U*1 | Head / site. |
| TEST_FLG | B*1 | 테스트 플래그: 경보, 결과 유효, 신뢰성, 시간 초과, 실행, 중단, 통과/실패. |
| PARM_FLG | B*1 | 파라메트릭 플래그: 스케일 오류, 드리프트, 진동, 한계 초과/미만, 대체 한계 통과. |
| RESULT | R*4 | 측정된 값(해당 플래그 비트가 모두 0인 경우에만 유효함). |
| TEST_TXT | C*n | 테스트 설명/라벨. |
| ALARM_ID | C*n | 트리거된 경보의 이름입니다. |
| RES_SCAL | I*1 | 결과 스케일링 지수(10의 거듭제곱)입니다. 보다 §10. |
| LO_LIMIT/HI_LIMIT | R*4 | 낮은 및 높은 테스트 한계(LLM_SCAL / HLM_SCAL 지수 포함). |
| UNITS | C*n | 기본 단위(예: "AMPS", "VOLTS" — "uAMPS"는 아님) |
| C_RESFMT / C_LLMFMT / C_HLMFMT | C*n | 표시용 ANSI C 형식 문자열(예: "%7.2f") |
| LO_SPEC / HI_SPEC | R*4 | 사양 하한/상한(첫 번째 PTR에서 한 번 설정) |
MPR 다중 결과 매개변수 기록 — V4의 새로운 기능
PTR과 비슷하지만 다음을 반환하는 매개변수 테스트의 경우 한 번에 여러 값
(예: 핀 배열에 대한 측정 또는 shmoo 스윕) 그것은 배열을 운반합니다
반환된 결과(RTN_RSLT) 및 선택적으로 핀 상태(RTN_STAT)
그리고 그들이 속한 PMR 인덱스. shmoo 로깅의 경우, START_IN / INCR_IN /
UNITS_IN 스윕 입력 조건을 설명합니다. 한계, 단위 및 크기 조정이 정확하게 작동합니다.
PTR에서와 마찬가지로 첫 번째 MPR이 기본값을 설정합니다.
FTR 기능 테스트 기록 — 기능 테스트 실행당 하나(또는 그 이상)
단일 기능(벡터/패턴) 테스트 결과 보유 - 통과/실패 및 풍부한 실패 세부 사항. 테스트의 첫 번째 FTR은 반정적 기본값을 전달합니다(STDF V3의 FDR 레코드 대체). 주요 필드에는 벡터 사이클 수 및 주소, 실패한 핀 수, X/Y 실패가 포함됩니다. 주소(메모리 패턴 생성기용), 반환 및 프로그래밍된 핀 상태(배열) PMR 인덱스 및 니블 인코딩 상태), 실패한 핀 비트 필드, 패턴/벡터 이름, 시간 세트, 연산 코드 및 패턴 생성기 번호. 반환 상태 코드의 범위는 낮음/높음/ midband/glitch/undetermined 및 실패한 변형; 정확한 표시 문자는 PLR에서 나옵니다.
프로그램 세그먼트별 기록
BPS 프로그램 섹션 시작 · EPS 프로그램 종료 섹션
부품의 테스트 흐름 내에서 명명된 프로그램 섹션(시퀀서)을 묶는 선택적 마커입니다. BPS 섹션 이름을 가지고 있습니다. EPS 없음 - 각 EPS 일치하지 않는 가장 최근의 BPS와 일치하므로 쌍이 중첩될 수 있습니다(한 시퀀서가 다른 시퀀서를 호출함). 분석은 프로그램의 특정 부분에 초점을 맞춥니다.
일반/자유 형식 레코드
GDR 일반 데이터 기록
다른 기록 유형에 맞지 않는 정보에 대한 포괄적인 정보입니다. 필드 수를 보유합니다.
그 다음에는 많은 자기 설명이 이어졌습니다. GEN_DATA 값 — 각 값은
1바이트 유형 코드(정수, 부동 소수점, 문자열, 비트 데이터, 니블…)와 데이터입니다. 특별한
패드 유형(코드 0)은 짝수 바이트 경계에서 멀티바이트 값을 유지하는 데 사용됩니다. 아래에 작성됨
사용자가 정의한 목적에 대한 작업 계획 제어.
DTR 데이터로그 텍스트 기록
데이터로그 출력에 포함되는 무료 ASCII 텍스트 - 예상치 못한 결과를 강조하는 데 사용됩니다.
또는 데이터로그 샘플링 속도의 변화와 같은 이벤트를 기록합니다. 한 마리씩 들고 다닌다
TEXT_DAT 문자열이며 초기 시퀀스 이후 어디에나 나타날 수 있습니다.
9. 파일에서 기록이 정렬되는 방식
정확한 기록 순서는 웨이퍼 또는 패키지 부품을 테스트하는지 여부에 따라 달라집니다. 병렬 테스트가 켜져 있는지, 데이터 로깅이 활성화되어 있는지 여부. 다음은 표준 패턴입니다.
다수의 패키지 장치(전체 데이터로그)
FAR file-level info MIR global lot info PIR ┐ 첫 번째 부분이 시작됩니다 PTR / MPR / FTR … │ 해당 부분에 대한 모든 테스트 PRR ┘ 첫 번째 부분 결과 PIR … PTR/MPR/FTR … PRR(각 부분마다 반복) … TSR × 프로그램 내 테스트 당 N개의 개요 HBR × 하드웨어 빈당 N개 SBR × 소프트웨어 빈당 N개 PCR part-count totals MRR 글로벌 로트 결과(마지막 기록)
요약만(부품별 데이터로그 없음)
위와 동일하지만 전체적으로 PIR…PRR 블록 제거 — FAR, MIR, 그 다음에는
TSR/HBR/SBR/PCR 요약 및 MRR.
웨이퍼 프로브에 많이
FAR · MIR · WCR 웨이퍼 치수 및 방향 WIR ┐ 첫 번째 웨이퍼 시작 PIR · PTR/MPR/FTR · PRR │ 웨이퍼의 각 다이 … │ WRR ┘ 첫 번째 웨이퍼 요약 WIR ... WRR(각 웨이퍼에 대해 반복) TSR… HBR… SBR… PCR… MRR 로트 요약 + 최종 기록
A wafer-map-only 파일은 동일하지만 저장만 PIR/PRR
다이당(PTR/MPR/FTR 없음), 지도를 그리는 데 필요한 것만 유지합니다.
Parallel testing
여러 헤드와 사이트를 사용하면 서로 다른 다이에 대한 레코드가 인터리브됩니다. 여러 PIR이 먼저 열리고
테스터는 테스트가 실행될 때 head+site 태그가 지정된 PTR/MPR/FTR 레코드를 내보내고 각 다이의 PRR이 나타납니다.
최대한 빨리 that 다이가 완료됩니다(반드시 시작 순서대로일 필요는 없음). 각 웨이퍼의 WRR이 기록됩니다.
해당 헤드의 다이가 모두 완료되면 PCR 블록에는 헤드/사이트당 하나의 PCR과
요약 PCR HEAD_NUM = 255.
10. 스케일링, 단위 및 한도
PTR/MPR 내부에서는 RESULT, 한도, 사양이 모두 저장됩니다. 정규화
기본 단위 named in UNITS. That means UNITS 항상
전체 단위("uAMPS"가 아닌 "AMPS") - 단위가 있는 모든 값에 대해 직접 산술을 수행할 수 있습니다.
동의합니다.
For display, 스케일링 지수와 ANSI-C 형식 문자열이라는 두 가지 추가 부분이 사용됩니다.
그만큼 _SCAL 값은 배율 인수의 10승이며 SI도 선택합니다.
접두사:
| _SCAL | Prefix | Meaning | Magnitude |
|---|---|---|---|
| 15 | f | femto | 10⁻¹⁵ |
| 12 | p | pico | 10⁻² |
| 9 | n | nano | 10⁻⁹ |
| 6 | u | micro | 10⁻⁶ |
| 3 | m | milli | 10⁻³ |
| 2 | % | percent | 10⁻² |
| 0 | — | base | 10⁰ |
| -3 | K | Kilo | 10³ |
| -6 | M | Mega | 10⁶ |
| -9 | G | Giga | 10⁹ |
| -12 | T | Tera | 10² |
스케일링된 값은 단순히 value × 10^_SCAL. 예를 들어, "123.45 uAMPS"를 저장하려면:
RESULT= 123.45 × 10⁻⁶RES_SCAL= 6 ('마이크로' 코드)C_RESFMT=%7.2fUNITS=AMPS
표시하려면: 10⁶를 곱하고, 소수점 이하 두 자리로 형식을 지정하고, 앞에 "u" 접두사를 추가하고 추가합니다. 단위 → 123.45 uAMPS.
11. 핀 매핑 레코드 사용
장치를 테스트할 때 다음과 같은 매핑이 있습니다. device pins and tester channels. 세 가지 레코드 유형이 이를 설명하고 FTR/MPR 레코드 참조 색인별로:
- PMR(핀맵 기록) — 하나의 채널-핀 연결을 정의하고 이를 제공합니다. 독특한 PMR index (1–32,767). 각 채널에는 유형과 이름이 있습니다. 각 핀에는 물리적인 핀이 있습니다. 그리고 논리적 이름; 헤드와 사이트도 기록됩니다.
- PGR(핀 그룹 기록) — 핀 그룹의 이름을 지정하고(예: "주소 버스") 목록을 나열합니다. 자체 그룹 인덱스(32,768–65,535)가 포함된 PMR 인덱스입니다.
- PLR(핀 목록 레코드) — 핀/그룹 목록의 경우 표시 기수를 정의합니다. (2진수, 8진수, 10진수, 16진수, 기호), 작동 모드(일반, 이중 드라이브, SCIO…) 및 프로그래밍된 상태와 반환된 상태를 렌더링하는 데 사용되는 ASCII 문자입니다.
소프트웨어가 기능 결과를 디코딩할 때 FTR/MPR의 PMR 인덱스 배열을 읽어 알 수 있습니다. 어떤 핀에 어떤 값이 있었는지, PMR을 사용하여 핀의 물리적/논리적/채널 이름을 가져옵니다. 및 해당 헤드/사이트는 PGR을 사용하여 핀이 속한 그룹을 확인하고 PLR을 사용하여 렌더링합니다. 엔지니어가 해당 테스터 및 장치에 대해 인식하는 형식의 상태입니다.
12. 수리정보 저장
STDF는 또한 메모리, PC 보드 및 기타 부품에 대한 수리 데이터를 전달할 수 있습니다.
테스트 및 수리 프로세스. 각 부품의 수리 정보는
PART_FIX PRR 분야. 이는 애플리케이션별로 다릅니다(비트 인코딩, 정수, 부동 소수점,
또는 텍스트 — 첫 번째 바이트는 뒤따르는 바이트 수를 제공하므로 다음으로만 디코딩할 수 있습니다.
매칭분석 프로그램입니다. 최소한의 복구 파일은 테스트별 기록을 완전히 삭제할 수 있으며
그냥 유지 FAR · MIR · (WIR ·) PRR… · PCR · MRR.
13. STDF 파일 이름
사양에서는 다음 형식의 파일 이름을 권장합니다. filename.STD[string] where:
- filename 다음에서 1~39자입니다.
A–Z a–z 0–9 _, 문자로 시작합니다. - 확장은 다음으로 시작됩니다.
.STD대소문자를 구분하는 시스템에서는 소문자로 쓰는 것이 가장 좋습니다(.std). - the dollar sign
$is no longer 허용됩니다(일부 운영 체제에서는 문제가 발생했습니다). - 마침표는 하나만 사용하고 확장자는 짧게 유지하세요. 소프트웨어는 처리 상태를 나타내기 위해 마침표에 문자를 추가할 수 있습니다.
좋은 파일 이름은 시스템 전체에서 고유하고, 내용과 생성 시간을 암시하며, 다양한 운영 체제에서 작동합니다.
14. STDF V3과 V4의 차이점
STDF는 1985년에 도입되어 사실상의 산업 표준으로 성장했습니다. 거의 모은 후 고객 및 기타 ATE 공급업체로부터 수백 건의 요청을 받아 Teradyne 출시 Version 4, 현재 사용중인 버전입니다. 가장 큰 변화:
- 필수 레코드 4개 (V3에는 MIR 및 MRR만 필요함): FAR, MIR, PCR, MRR - 이제 파일은 FAR로 시작해야 합니다.
- New records: ATR, PCR, PGR, PLR, RDR, SDR 및 MPR.
- Dropped records: 설명에는 PDR 및 FDR(반정적 정보는 이제 각 테스트의 첫 번째 PTR/FTR에 있음)과 모든 사이트별 기록 SHB, SSB, STS, SCR(해당 기능은 이제 HBR, SBR, TSR 및 PCR의 헤드/사이트 필드에서 처리됨)을 기록합니다.
- Part counts moved MRR에서 새로운 PCR로;
CPU_TYPEandSTDF_VER이제 FAR에만 살고 있습니다. - 핀 매핑이 재설계되었습니다. V3 PMR(그룹을 정의할 수도 있음)은 PMR + PGR + PLR로 분할되었습니다.
- 현대화된 디스플레이 분야: 이전 자릿수 필드는 ANSI-C 형식 문자열로 대체되었습니다(
C_RESFMT등) 및 사양 제한(LO_SPEC/HI_SPEC)이 PTR/MPR에 추가되었습니다. - New data types
D*nandN*1추가되었고B*n비트 순서가 명확해졌습니다. - 변경되지 않은 기록: BPS, EPS, GDR 및 DTR.
15. Glossary
| Term | Meaning |
|---|---|
| Aborted part | 테스트가 시작되었지만 완료되지 않은 부품(예: 작업자가 테스트를 중단함) |
| Datalog | 특정 테스트 정보 목록(테스트 결과 및 매개변수 값) |
| Die | 웨이퍼 내의 단일 반도체 장치입니다. |
| Functional part | 테스트 시 치명적인 오류 저장소(일반적으로 저장소 0)에 포함되지 않는 부품입니다. FUNC_CNT에 보관됩니다. |
| Good part | 사용/판매가 허용되는 상자에 담긴 모든 부품. GOOD_CNT에 보관됩니다. 수확량에 필요합니다. |
| Hardware bin | 테스트된 장치 등급을 매기기 위한 장치 핸들러의 물리적 정렬 범주입니다. |
| Software bin | 하드웨어 저장소보다 더 정밀한 분류를 위해 테스트 프로그램에 정의된 논리적 정렬 범주입니다. |
| Insertion | 한 로트의 부품을 한 번에 테스트하는 행위입니다(많은 부품을 다른 조건에서 여러 번 테스트할 수 있음). |
| 직무계획 / 시험계획 / 시험프로그램 | 특정 장치를 테스트하기 위해 설계된 프로그램 명령문 세트입니다. |
| Lot | 그룹으로 테스트되는 부품 배치(종종 전체 생산 실행)입니다. 하위 구역으로 분할될 수 있습니다. |
| Lot disposition | 로트의 미래에 대한 결정(예: 포장하기에는 수율이 너무 낮음) |
| Retested part | 일반적으로 처음으로 문제가 발견되었기 때문에 한 번 삽입하는 동안 부품을 두 번 이상 테스트했습니다. |
| Sequencer | 테스트 프로그램의 "목차" — 한계 및 비닝이 포함된 정렬된 테스트 목록입니다. |
| 설정/시작/종료 시간 | 설정이 시작될 때 / 첫 번째 부분이 테스트를 시작할 때 / 마지막 부분이 완료될 때. |
| Tester | 좋은 부품과 나쁜 부품을 분리(일반적으로 등급 지정)할 수 있는 기계입니다. |
| Test head | 하나 이상의 장치를 테스트하는 하드웨어입니다. 병렬 테스터에서는 여러 사이트를 제어합니다. |
| Test site | 단일 장치를 테스트하는 데 필요한 하드웨어 연결. 한 머리에는 여러 사이트가 있을 수 있습니다. |
| Test station | 하나 이상의 헤드와 연결된 단일 테스트 계획을 로드하고 실행하는 논리적 소프트웨어 엔터티입니다. |
| Wafer | 고순도 반도체 소재의 디스크; IC가 구축된 기판을 ATE로 조사합니다. |
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STDF는 로트당 수백만 개의 레코드를 포함할 수 있는 컴팩트 바이너리 형식이기 때문에 많은 파일을 직접 교차 분석하는 것은 비현실적입니다. DLOG STDF V4를 읽습니다. 기록별로 기록하고, 한 번에 많은 파일을 로드하고, 원시 데이터로그를 웨이퍼 맵으로 변환하고, bin Pareto, 히스토그램, 추세/분산형 차트, Cpk, PAT, 게이지 R&R 및 상관 관계 — 다음으로 내보내기 몇 번의 클릭만으로 PDF/Excel/이미지 보고서를 자신의 PC에서 완전히 오프라인으로 볼 수 있습니다.
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